同時(shí)集成了力學(xué)測(cè)量模塊及MEMS芯片模塊，可以在對(duì)樣品1000 ℃加熱的同時(shí)進(jìn)行定量的力學(xué)測(cè)量。MEMS芯片模塊上可以選擇加熱芯片，也可以選擇電學(xué)測(cè)量芯片。力學(xué)測(cè)量模塊可以選擇不同載荷的傳感器，滿足不同實(shí)驗(yàn)需求。

        該產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了透射電鏡中真正意義上的高分辨定量原位高溫力學(xué)研究。

性能指標(biāo)
 

 透射電鏡指標(biāo)：

● 兼容指定電鏡型號(hào)及極靴；

● 部分型號(hào)電鏡可選雙傾版本，雙傾電學(xué)測(cè)量樣品桿Y軸傾角±25°;（同時(shí)受限于極靴間距）；
     

力學(xué)傳感器指標(biāo)：

● 最大載荷100 mN（可選0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；

● 力測(cè)量實(shí)測(cè)噪聲優(yōu)于5nN（0.1 mN最大載荷時(shí)）；

● 力測(cè)量實(shí)測(cè)分辨率優(yōu)于5 nN（0.1 mN最大載荷時(shí)）；

● 自動(dòng)測(cè)量力-距離曲線，自動(dòng)保存。

加熱指標(biāo)：

● 溫度控制范圍：室溫至1000 ℃；

● 溫度準(zhǔn)確度：優(yōu)于5%；

● 溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1 ℃。