桌面型掃描電鏡分為鏡體和電源電路系統(tǒng)兩部分。鏡體部分由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集和顯示系統(tǒng)以及真空抽氣系統(tǒng)組成。掃描電鏡由電子槍發(fā)射出來的電子束，在加速電壓的作用下，經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成直徑為5nm，經(jīng)過二至三個電磁透鏡所組成的電子光學(xué)系統(tǒng)，電子束會聚成一個細(xì)的電子束聚焦在樣品表面。在末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作...
MORE INFO → 行業(yè)動態(tài) 2022-05-27
在目前微觀形貌的分析研究中，隨著半導(dǎo)體器件等高新技術(shù)的發(fā)展，往往要求對表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)能夠更深入地觀察和了解，因此發(fā)展高分辨力的電鏡一直是生產(chǎn)廠商和用戶們所追求的共同目標(biāo)。要獲得一張清晰、高分辨的照片，不僅要有一臺性能優(yōu)越的高分辨力掃描電子顯微鏡，而且還取決于試樣自身的特征和操作人員的工作經(jīng)驗，即要考慮以下幾種因素：（1...
MORE INFO → 行業(yè)動態(tài) 2022-05-27
二次電子是相對于入射電子的一種提法。它是指被高能入射（也稱為一次或初次）電子束轟擊出來的試樣中的核外電子。由于原子核和外層價電子間的結(jié)合能很小，當(dāng)原子的核外電子從入射電子那里獲得大于相應(yīng)的結(jié)合能后，就可脫離原子核的約束而成為自由電子。如果這種脫離過程發(fā)生在試樣表面和亞表面層，那么這些能量大于材料逸出功的電子就可以從試樣...
MORE INFO → 行業(yè)動態(tài) 2022-05-25
當(dāng)掃描電鏡的電子束轟擊試樣表面時，電子束會進(jìn)入試樣內(nèi)部，產(chǎn)生散射現(xiàn)象，電子束在散射后會改變前進(jìn)方向，而且還會損失部分能量，隨之而來產(chǎn)生各種其他信息，如熱、俄歇電子、X射線、可見光、二次電子、背散射電子等。當(dāng)入射電子與試樣相互作用后，其中有一部分電子會返回表面逸出，則這部分被返回表面逸出的原入射電子被稱為背散射電子。在實...
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臺式掃描電鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)組成。 電子光學(xué)系統(tǒng)：電子光學(xué)系統(tǒng)由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束，作為使樣品產(chǎn)生各種物理信號的激發(fā)源?！ ‰娮訕專浩渥饔檬抢藐帢O與陽極燈絲間的高壓產(chǎn)生高能量的電子束?！ ‰姶磐哥R：其作用是把電子槍的束斑...
MORE INFO → 行業(yè)動態(tài) 2022-05-24
掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時，也可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動(聲子)、電子振蕩(等離子體)。 原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互...
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桌面型掃描電鏡的掃描速度快，信號采集帶寬10M，可以在視頻模式下流暢實時的顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成所有操作，不需對中光闌等復(fù)雜步驟，聚焦消像散后可直接拍圖?！ ∽烂嫘蛼呙桦婄R的結(jié)構(gòu)組成： 區(qū)別于傳統(tǒng)掃描電鏡的笨重機(jī)身，ZEM15主機(jī)成高壓及控制系統(tǒng)，體積小巧，便于移動，安裝無需特殊環(huán)境，只需找一張桌子，...
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掃描電鏡能譜一體機(jī)是光學(xué)表征儀器產(chǎn)品的全明星，用戶通過一臺設(shè)備就可以實現(xiàn)形貌表征及元素分析功能。研究樣品時，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。 掃描電鏡能譜一體機(jī)內(nèi)部集成了用于分析樣品元素組分的能譜儀。對于很多既需要觀察表面形貌又要檢測表面元素組分分布的用戶非常適用，...
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