如何防止樣品在SEM成像過程中受到污染? 日期:2025-03-13 在掃描電子顯微鏡(SEM)成像過程中,樣品可能會受到污染,導致圖像質(zhì)量下降或影響分析結(jié)果。以下是一些防止污染的有效方法:1. 預處理樣品,減少污染源清潔樣品:使用超聲波清洗、去離子水沖洗或等離子清洗去除表面污染物。 干燥樣品:避免水分殘留,可使用烘干或真空干燥。 避免手接觸:用鑷子或手套處理樣品,防止皮脂污染。 2. 控制真空腔內(nèi)污染定期清潔 SEM 樣品腔:使用等離子清洗或低能電子束清洗去除沉積污染。 避免使用高揮發(fā)性膠水或銀漆:可選擇低污染的導電膠或機械夾持方式固定樣品。 減少樣品倉打開次數(shù):頻繁暴露空氣可能帶入水汽和有機污染物。 3. 使用低束流和低加速電壓電子束與樣品作用可能引發(fā)碳沉積污染,適當降低束流和電壓可減少污染風險。 4. 選擇適當?shù)臉悠吠繉?/span>絕緣樣品需噴金、碳或鉑,提高導電性并減少電子束誘導污染。 5. 采用低污染 SEM 運行模式低溫 SEM(冷臺):對生物或揮發(fā)性樣品可減少污染和損傷。 環(huán)境 SEM(ESEM):適用于含水或易揮發(fā)樣品,可減少污染沉積。 6. 維護 SEM 儀器保持高真空狀態(tài),防止有機分子在樣品上沉積。 定期更換真空泵油,防止油蒸氣污染。以上就是澤攸科技小編分享的如何防止樣品在SEM成像過程中受到污染。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢 TAG: 作者:澤攸科技 上一篇:掃描電鏡的電子束是如何成像的? 下一篇:掃描電鏡樣品可以重復使用嗎?