在掃描電子顯微鏡（SEM）中，避免樣品的熱損傷非常重要，尤其是在對(duì)溫度敏感的材料和微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行觀察時(shí)。由于電子束會(huì)產(chǎn)生能量并將其轉(zhuǎn)化為熱量，這種熱量可以迅速加熱樣品表面，導(dǎo)致樣品的形貌、結(jié)構(gòu)甚至化學(xué)性質(zhì)發(fā)生改變。以下是幾種有效的避免樣品熱損傷的方法：

1. 降低電子束功率

調(diào)節(jié)束流強(qiáng)度：較高的電子束電流會(huì)產(chǎn)生更多的熱量，可能導(dǎo)致樣品表面過(guò)熱。通過(guò)降低電子束的束流強(qiáng)度，可以減少產(chǎn)生的熱量，從而避免樣品的熱損傷?？梢酝ㄟ^(guò) SEM 的控制面板來(lái)調(diào)整束流強(qiáng)度。

使用較低的加速電壓：較低的加速電壓（例如 1-5 kV）能減少電子束的穿透深度，從而降低熱量的生成。較高的加速電壓會(huì)使電子束穿透樣品更深，增加熱量的積聚。

2. 減少掃描時(shí)間

控制掃描模式：較長(zhǎng)時(shí)間的掃描會(huì)使得電子束在樣品表面停留較長(zhǎng)時(shí)間，增加熱量的積累。使用 快速掃描模式 或通過(guò)優(yōu)化掃描路徑，減少每個(gè)像素點(diǎn)上的曝光時(shí)間，從而減少熱損傷。

避免長(zhǎng)時(shí)間聚焦：如果長(zhǎng)時(shí)間將電子束聚焦在同一個(gè)點(diǎn)上，局部區(qū)域會(huì)過(guò)熱，導(dǎo)致樣品損壞?？梢酝ㄟ^(guò)定期改變焦點(diǎn)位置或使用“點(diǎn)陣掃描”技術(shù)來(lái)避免局部過(guò)熱。

3. 優(yōu)化樣品的導(dǎo)熱性能

使用導(dǎo)熱材料：如果樣品是熱敏感的，可以選擇具有良好導(dǎo)熱性的材料（例如金屬箔）作為樣品的基底，幫助將電子束產(chǎn)生的熱量更有效地傳導(dǎo)走，從而減少局部溫度升高。

薄樣品準(zhǔn)備：薄樣品的熱導(dǎo)率通常較高，能夠更有效地散熱，因此在制備樣品時(shí)應(yīng)盡量使樣品變薄，從而減小熱損傷的風(fēng)險(xiǎn)。

4. 使用低真空模式

在 SEM 中，樣品的熱損傷也受到樣品周?chē)鷼夥盏挠绊?。在低真空模式下，樣品表面與空氣中的分子發(fā)生相互作用，散熱更快，從而避免過(guò)度加熱。對(duì)于不易導(dǎo)電或易受熱損傷的樣品，可以嘗試低真空模式。

5. 使用冷卻臺(tái)或樣品冷卻設(shè)備

冷卻樣品：對(duì)于一些對(duì)溫度特別敏感的樣品，可以使用冷卻裝置，如 冷凍臺(tái)（通常使用液氮或其他制冷劑），將樣品保持在低溫下進(jìn)行觀察。這不僅可以防止樣品因電子束熱量而發(fā)生化學(xué)變化，還可以避免熱膨脹引起的形變。

液氮冷卻：液氮冷卻有助于保持樣品的穩(wěn)定性，尤其是在觀察生物樣品、聚合物或其他易受熱損傷的材料時(shí)。

6. 使用掃描電子顯微鏡的加熱功能（溫控臺(tái)）

溫控臺(tái)（HEAT Stage）可以在掃描時(shí)保持樣品的溫度在一個(gè)特定的范圍內(nèi)。雖然這個(gè)功能是為了在某些實(shí)驗(yàn)中加熱樣品，但它同樣可以幫助在掃描過(guò)程中保持樣品的溫度穩(wěn)定，防止過(guò)熱。

7. 選擇合適的樣品涂層

金屬涂層：對(duì)于非導(dǎo)電樣品，涂覆一層薄的金屬涂層（如金、鉑或碳）不僅有助于減少樣品的電荷積累，還可以通過(guò)金屬涂層的導(dǎo)熱性幫助散熱，降低熱損傷的可能性。

薄涂層：使用薄的涂層可以減少涂層本身對(duì)熱量的積聚，同時(shí)也能提供足夠的導(dǎo)電性和散熱性。

8. 精確控制電子束焦點(diǎn)

控制焦點(diǎn)位置：在觀察樣品時(shí)，應(yīng)確保電子束不集中在單個(gè)點(diǎn)上太長(zhǎng)時(shí)間。通過(guò)精確控制掃描過(guò)程中的電子束焦點(diǎn)位置，可以有效避免在樣品上產(chǎn)生熱積累。使用電子束的“交替掃描”模式可以有效分散熱量。

9. 調(diào)整樣品的擺放角度

改變樣品的傾斜角度：通過(guò)將樣品稍微傾斜，可以使得電子束以較淺的角度照射樣品表面。這樣可以減少電子束的穿透深度和熱量積聚，特別是對(duì)于一些熱敏感的樣品。

10. 優(yōu)化樣品的表面處理

表面涂層或涂層處理：對(duì)于一些可能受到熱損傷的樣品，可以采用 低熱導(dǎo)材料 進(jìn)行表面處理，減少熱量向樣品內(nèi)部的傳遞。

增加表面粗糙度：粗糙的表面有助于提高散熱效率。通過(guò)對(duì)樣品表面進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)處理，可以加速熱量的散發(fā)。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中避免樣品的熱損傷。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢(xún)