PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測(cè)量系統(tǒng) 日期：2022-05-20 PicoFemto SFP3 SEM納米力測(cè)量將納米壓痕儀集成進(jìn)掃描電鏡中，使用戶可以在掃描電鏡中進(jìn)行原位納米壓痕研究。該系統(tǒng)由一個(gè)三維壓電驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)和一個(gè)納米力測(cè)量探針組成。樣品安裝方式靈活多樣，可在三維納米位移臺(tái)的驅(qū)動(dòng)下，達(dá)到超過(guò)5 mm的準(zhǔn)確定位，定位分辨率優(yōu)于100 nm，以使待測(cè)量區(qū)域準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)力探針。力探針同樣由壓電驅(qū)動(dòng)，在軸向達(dá)到100 um的伸縮長(zhǎng)度，位移分辨率優(yōu)于0.25mm。由力傳感器準(zhǔn)確測(cè)量所施加的力的載荷，可測(cè)拉力和壓力。并有不同的最大量程的力傳感器可選配，達(dá)到很好的測(cè)量效果。通過(guò)搭配電學(xué)、光學(xué)、加熱等模塊，該產(chǎn)品還可以實(shí)現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場(chǎng)耦合研究。PicoFemto SFP3 SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)基本技術(shù)參數(shù)表特征技術(shù)指標(biāo)兼容性兼容賽默飛、日本電子、蔡司、日立、ZEM 等型號(hào)掃描電子顯微鏡最大載荷±10 ~±50 mN可選載荷分辨率優(yōu)于10 mN加載模式拉伸、壓縮、彎曲、壓痕、劃痕等納米壓痕模式加載-保載-卸載，以及循環(huán)加載模式軟件自動(dòng)測(cè)量載荷-位移曲線，自動(dòng)保存；樣品位移反饋閉環(huán)響應(yīng)時(shí)間50ms加載位移精度0.25 mmXYZ反饋開(kāi)環(huán)XYZ粗調(diào)范圍大于5 mmXYZ細(xì)調(diào)范圍2.5 mmXYZ細(xì)調(diào)分辨率0.6 nmXYZ位移操作模式手柄操作(可改為軟件）。電流測(cè)量量程±1.5 A電流測(cè)量精度±100 fA電壓測(cè)量量程±200V電壓測(cè)量精度±100 nV電學(xué)測(cè)量模式自動(dòng)電流-電壓（I-V）測(cè)量、電流-時(shí)間（I-t）測(cè)量，自動(dòng)保存。加熱范圍室溫至500 ℃加熱穩(wěn)定性優(yōu)于1 ℃其他可選光學(xué)模塊 以上就是澤攸科技對(duì)PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)的介紹，關(guān)于價(jià)格請(qǐng)咨詢18817557412(微信同號(hào)) TAG： 掃描電鏡納米力臺(tái) SEM納米臺(tái) 納米壓痕儀 作者：澤攸科技 上一篇：PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測(cè)量系統(tǒng) 下一篇：暫無(wú)
