線性壓電納米位移臺(tái)MF40-25A，緊湊結(jié)構(gòu)支撐下的超大行程，軟件簡(jiǎn)單易用，亞納米級(jí)別開環(huán)分變率，真空兼容可達(dá)10-5Pa。支持定制納米位移臺(tái)。

不同于傳統(tǒng)的微米級(jí)別行程，納米位移臺(tái)擁有超大運(yùn)動(dòng)行程。大運(yùn)動(dòng)行程可以替代傳統(tǒng)的大范圍運(yùn)動(dòng)加不范圍補(bǔ)償?shù)倪\(yùn)動(dòng)方案，從而使設(shè)計(jì) 結(jié)構(gòu)更加緊湊，運(yùn)動(dòng)控制更加簡(jiǎn)單。

納米位移臺(tái)配套操作簡(jiǎn)單，隨時(shí)調(diào)整XY軸觀測(cè)位置，電子屏顯示，實(shí)時(shí)反饋數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)定位準(zhǔn)確，且?guī)в懈呔燃案叻肿兟实奈恢梅答仭?/span>