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PicoFemto透射電子顯微鏡樣品桿預(yù)抽存儲系統(tǒng)

日期:2020-05-11

透射電子顯微鏡樣品桿預(yù)抽存儲系統(tǒng)



        透射電子顯微鏡樣品桿預(yù)抽存儲系統(tǒng)(T-staion)由內(nèi)置進(jìn)口分子泵組、樣品桿預(yù)抽室及觸摸顯示屏組成。適用于各品牌透射電鏡樣品桿,保證樣品桿長期處于高真空狀態(tài),減少進(jìn)樣預(yù)抽時間??缮壍入x子清洗功能,實(shí)現(xiàn)對樣品桿或MEMS芯片的清洗。
 

性能指標(biāo)

  • 兼容各廠家樣品桿 

  • 分子泵組:ISO/CF63 84L/sec

  • 極限真空:5 X10-5 Pa

  • 插桿位:4個桿位,可獨(dú)立放氣。

  • 觸摸屏:實(shí)施顯示預(yù)抽室真空度,一鍵開關(guān)。

  • 可升級等離子清洗功能(需提前預(yù)留接口)

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作者:管理員


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