透射電子顯微鏡原位STM-TEM測量系統(tǒng)是在標(biāo)準(zhǔn)外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)加裝掃描探針控制單元，通過探針對(duì)單個(gè)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行操縱和電學(xué)測量，并可在電學(xué)測量的同時(shí)，動(dòng)態(tài)、高分辨地對(duì)樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征，大大地?cái)U(kuò)展了透射電子顯微鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。

性能指標(biāo)

透射電鏡指標(biāo)：

● 兼容指定電鏡型號(hào)及極靴；

● 可選雙傾版本，雙傾電學(xué)測量樣品桿Y軸傾角±25°（同時(shí)受限于極靴間距）；

● 保證透射電鏡原有分辨率。

電學(xué)測量指標(biāo)：

● 包含一個(gè)電流電壓測試單元；

● 電流測量范圍：１ nA-30 mA，9個(gè)量程；

● 電流分辨率：優(yōu)于100 fA；

● 電壓輸出范圍：普通模式±10 V，高壓模式±150 V；

● 自動(dòng)電流-電壓（I-V）測量、電流-時(shí)間（I-t）測量，自動(dòng)保存。

掃描探針操縱指標(biāo)：

● 粗調(diào)范圍：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

● 細(xì)調(diào)范圍：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

● 細(xì)調(diào)分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

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