2024年澤攸科技精選自研科學儀器清單
日期:2024-03-18
臺式掃描電鏡、原位SEM、原位TEM、臺階儀、二維材料轉移臺、納米位移臺、低溫探針臺、掃描隧道顯微鏡、化學氣相沉積系統(tǒng)、光柵尺、壓電物鏡。
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ZEM系列臺式掃描電鏡
該系列產(chǎn)品融合了多項自主創(chuàng)新核心技術,兼具很高的成像質量和便攜性能,滿足廣泛應用需求。
ZEM系列產(chǎn)品集成度高,配置靈活可選。除二次電子、背散射電子等標準探測器外,還可根據(jù)需求集成能譜儀等分析模塊。多種原位樣品臺讓ZEM系列適配各類原位實驗需求,如原位拉伸、高溫、低溫等。
操作方便,學習簡單,非專業(yè)人士也可快速上手。ZEM配套軟件貫穿整個工作流程,從樣品導入、參數(shù)設置到成像分析,一站式便捷。
目前,ZEM系列已在新材料、新能源、生物醫(yī)藥、半導體等諸多領域展現(xiàn)出強大的分析實力,幫助科研人員直觀觀測微納世界奧秘。憑借性價比,ZEM系列臺掃已然成為高校、研究所和企業(yè)廣泛采用的選擇之一。
PicoFemto原位SEM測量系統(tǒng)
該系列產(chǎn)品是將原位拉伸、納米壓痕、低溫、液體、氣體等多種測試模塊集成進掃描電鏡內(nèi)部,從單一成像設備升級為多功能復合實驗平臺。
PicoFemto原位SEM測量系統(tǒng)的亮點,就是使用戶能夠在掃描電鏡內(nèi)部進行原位實驗,從而捕捉到樣品在特定條件下的變化過程,這對于研究樣品的動態(tài)行為、相變過程等具有重要意義。
SEM低溫/冷凍真空傳輸系統(tǒng)
這也使得掃描電鏡不再是簡單的表征成像工具,而是功能強大、應用前景無限的納米分析平臺。
PicoFemto原位TEM測量系統(tǒng)
該系列產(chǎn)品通過自主研發(fā)的技術,可在透射電鏡中引入光、電、力、熱、冷凍、液體、氣氛等多種原位狀態(tài),將您的透射電鏡打造成功能強大的納米實驗室。
PicoFemto原位TEM測量系統(tǒng)的核心優(yōu)勢在于實時原位觀察樣品在真實環(huán)境下的動態(tài)現(xiàn)象,從而觀察材料的變化并進行數(shù)據(jù)分析。目前該系統(tǒng)已在國內(nèi)外高校和研究機構投入使用,取得了一系列有影響力的研究成果。
JS系列高精度臺階儀
臺階儀可以對微納結構進行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量,在高校、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設備等行業(yè)領域有著廣泛應用。
長期以來,這一領域被國外產(chǎn)品壟斷。而澤攸科技自主研發(fā)的JS系列高精度臺階儀,憑借突破性的關鍵技術,打破了國外壟斷,是半導體國產(chǎn)化進程中不可或缺的一環(huán)。
JS系列臺階儀的核心優(yōu)勢在于大行程平面掃描、大帶寬大行程納米微動臺、超微壓力恒定控制等自主創(chuàng)新技術。大行程平面掃描技術行程55mm,平坦度優(yōu)于20nm,超微壓力恒定控制探針壓力0.5~50mg,大帶寬大行程納米微動臺技術行程80um,分辨率0.1nm,帶寬10KHz。憑借這些技術指標,JS系列臺階儀可滿足各類制造環(huán)節(jié)中對表面粗糙度的高要求測量需求。
目前,JS系列已成為半導體、新型平板顯示、光學元件等制造環(huán)節(jié)中重要的質量把控工具。澤攸科技還將進一步推進技術創(chuàng)新,為實現(xiàn)更多關鍵制造環(huán)節(jié)的國產(chǎn)化貢獻力量。
二維材料轉移臺
澤攸科技二維材料轉移臺是一種集成了多種功能的實驗裝置,用于制備和轉移二維材料樣品。它由氣浮隔震臺、電動位移臺組、加熱旋轉臺、真空吸附系統(tǒng)、顯微鏡成像系統(tǒng)等模塊組成,可實現(xiàn)樣品的微米級位移、高溫加熱處理、角度調節(jié)、真空吸附固定以及高倍顯微觀察,為二維材料的制備、分離、轉移等實驗操作提供了完整的解決方案。
納米位移臺
澤攸科技壓電驅動納米位移臺,使用壓電陶瓷作為運動促動元件,可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)亞納米級別的步長,從而解決了傳統(tǒng)納米臺行程小而微米電動臺分辯精度不高的問題。在科研市場、半導體市場、先進制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學、通信等行業(yè)有廣泛應用。
探針臺及低溫系統(tǒng)
澤攸科技低溫探針臺是一種廣泛用于研究和測試低溫材料的儀器設備,包括半導體、MEMS、超導、鐵電子學、材料科學以及物理和光學等領域。它能夠在極低溫環(huán)境下對樣品進行各種物理性能和電學性能測試,為科研工作者和工程技術人員提供極為重要的測試手段。
掃描隧道顯微鏡
澤攸科技掃描探針顯微鏡(STM)為代表的超高真空設備廣泛應用于科學研究中,主要進行對表面有關或者在表面發(fā)生的所有物理化學現(xiàn)象進行原子尺度的研究。超高真空低溫(4K)STM系統(tǒng)包含關鍵技術如壓電陶瓷步進馬達、低溫STM探頭、超真空液氦雙層杜瓦等。超高真空低溫掃描探針顯微鏡系列產(chǎn)品,除了高性能STM、調頻AFM、TERS等設備外,還可將核心部件模塊化,集成化,針對科研用戶,定制開發(fā)所需功能和設備。
光柵尺
澤攸科技微型超高真空光柵尺,體積小,結構緊湊;適用于超高真空使用;良好的耐高溫性,可達100°C;精度高,精度±3μm(20°C);采用玻璃柵尺,膨脹系數(shù)小,讀數(shù)穩(wěn)定性良好;分辨率高,配合TF15細分接頭,讀數(shù)分辨率可達4nm;安裝容許公差大(容許誤差±0.1mm)。
壓電物鏡
澤攸科技壓電物鏡采用壓電陶瓷驅動的納米級物鏡掃描臺,內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導向機構,確保了掃描臺的運動精度。掃描臺內(nèi)置位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。掃描臺為無磁材質,使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。聚焦行程可達100微米。分體的螺紋適配器,可適配多種型號的物鏡。
化學氣相沉積系統(tǒng)
澤攸科技多功能電感耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)(CVD)是用來制備高純、高性能固體薄膜的主要技術,主要借助微波或射頻的方法將目標氣體進行電離,促進化學反應在較低的溫度下進行,從而在基片上沉積出所期望的薄膜。
目前項目團隊自主研發(fā)的CVD設備可在多種襯底上(如金屬、氧化物、半導體表面)直接生長以石墨烯為代表的各類新型二維材料,用于新材料、新器件的研發(fā)。工藝簡單廉價,且具有傳統(tǒng)半導體生長工藝的兼容性。
材料科學是推動現(xiàn)代科技進步的重要基石。新材料、新工藝的不斷涌現(xiàn),為人類社會注入持久動力。而科研儀器設備是材料研究和創(chuàng)新的重要助力,是推動材料科學不斷突破和發(fā)展的利器。
作為具有完全自主知識產(chǎn)權的儀器高科技公司,澤攸科技一直堅持自主創(chuàng)新的發(fā)展理念,在多個材料科學領域實現(xiàn)了關鍵核心技術突破,打造出一系列國產(chǎn)替代的產(chǎn)品,為國家材料科技自主可控貢獻力量。
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作者:澤攸科技