在掃描電子顯微鏡（SEM）中，高真空（High Vacuum, HV）和低真空（Low Vacuum, LV）模式的切換是為了適應(yīng)不同樣品的成像需求。高真空模式通常用于無揮發(fā)性或?qū)щ姌悠罚驼婵漳Ｊ竭m用于易揮發(fā)或非導(dǎo)電樣品。以下是如何在SEM中進行高真空和低真空模式切換的步驟和注意事項：

1. 理解高真空和低真空模式

高真空模式:

真空度: 通常在10??托 (Torr) 量級。

應(yīng)用: 適用于導(dǎo)電樣品和某些經(jīng)過表面處理的非導(dǎo)電樣品（如鍍金、鍍碳）。

優(yōu)點: 提供更高的分辨率和對比度，適合精細(xì)結(jié)構(gòu)的成像。

低真空模式:

真空度: 通常在10?2到10?3托 (Torr) 之間。

應(yīng)用: 適用于未鍍膜的非導(dǎo)電樣品、生物樣品、濕潤樣品或含揮發(fā)性成分的樣品。

優(yōu)點: 減少或消除充電效應(yīng)，并允許直接觀察未處理的非導(dǎo)電樣品。

2. 切換準(zhǔn)備

檢查樣品類型: 在決定使用哪種模式之前，首先評估樣品的特性（導(dǎo)電性、揮發(fā)性、結(jié)構(gòu)敏感性等）。導(dǎo)電樣品和結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的樣品通常使用高真空模式；而非導(dǎo)電、濕潤或敏感樣品則適合低真空模式。

樣品固定: 無論使用哪種模式，確保樣品牢固地固定在樣品架上，以防在真空過程中發(fā)生移動或損壞。

3. 設(shè)備設(shè)置

進入高真空模式:

真空泵啟動: 啟動SEM的高真空泵（通常是渦輪分子泵或擴散泵），將樣品室抽至高真空狀態(tài)。

電子束設(shè)置: 在高真空模式下，電子束具有更高的穿透力，可以調(diào)整加速電壓以優(yōu)化分辨率和對比度。

檢測器選擇: 使用二次電子檢測器（SE Detector）或背散射電子檢測器（BSE Detector），適合于高真空模式下的成像。

切換到低真空模式:

控制真空度: 在控制界面選擇低真空模式，系統(tǒng)會自動調(diào)節(jié)樣品室的真空度至所需范圍。此時，系統(tǒng)通常會引入適量的惰性氣體（如氮氣）來穩(wěn)定樣品環(huán)境。

電子束設(shè)置: 在低真空模式下，通常需要調(diào)整電子束電壓以適應(yīng)較低的真空度。低加速電壓可以減少樣品表面的充電效應(yīng)。

檢測器選擇: 低真空模式通常使用專門設(shè)計的低真空二次電子檢測器（LV-SE Detector）或氣體輔助探測器，以應(yīng)對低真空環(huán)境下的成像需求。

4. 切換過程中的注意事項

樣品保護: 在切換真空模式時，確保樣品不會因快速壓力變化而受到損壞。某些樣品在低真空環(huán)境下容易揮發(fā)或變質(zhì)，需要特別注意。

真空環(huán)境穩(wěn)定: 在切換至低真空模式后，確保真空環(huán)境穩(wěn)定，避免真空波動影響成像質(zhì)量。

成像參數(shù)調(diào)整: 每次切換真空模式后，都需要重新調(diào)整成像參數(shù)（如電子束電壓、探測器設(shè)置等），以獲得高質(zhì)量圖像。

5. 觀察與成像

高真空模式成像: 由于高真空下的電子束更集中，成像過程中可以捕捉到更精細(xì)的樣品結(jié)構(gòu)。因此，高真空模式適合用于高分辨率成像。

低真空模式成像: 在低真空模式下，樣品表面不會因充電效應(yīng)而產(chǎn)生偽影，這使得它非常適合觀察未處理的非導(dǎo)電樣品。雖然分辨率可能稍低，但能夠更真實地反映樣品的表面特征。

6. 模式切換后的清潔與維護

設(shè)備清潔: 如果在低真空模式下使用了惰性氣體或其他輔助氣體，切換回高真空模式前，應(yīng)檢查并清潔樣品室，防止殘留氣體影響高真空環(huán)境。

真空泵維護: 定期檢查并維護真空泵，確保其在不同模式下的正常運行。特別是渦輪分子泵或擴散泵，需要保證其能夠迅速達(dá)到預(yù)定的真空度。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中進行高真空和低真空模式切換。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢15756003283(微信同號)。