在掃描電子顯微鏡（SEM）中，偽影（artifacts）是圖像中由于非樣品原因而出現(xiàn)的假象或失真，這些偽影可能干擾對樣品的正確分析和解釋。處理和減少SEM圖像中的偽影需要對偽影的來源進(jìn)行識別，并采取相應(yīng)的措施來避免或修正。以下是常見偽影的類型以及相應(yīng)的處理方法：

1. 充電效應(yīng)偽影

特征：充電效應(yīng)通常出現(xiàn)在非導(dǎo)電樣品中，表現(xiàn)為圖像中的亮點(diǎn)、條紋或整體圖像的漂移。

處理方法：涂覆導(dǎo)電層：對非導(dǎo)電樣品表面涂覆一層薄的導(dǎo)電材料（如金、碳），以減少充電效應(yīng)。

降低加速電壓：使用低加速電壓（如1-5 kV）可以減少樣品表面電荷積累。

使用環(huán)境掃描電鏡（ESEM）：ESEM可以通過控制樣品室的氣壓和濕度，利用氣體分子中和電荷，從而減少充電效應(yīng)。

調(diào)整束流強(qiáng)度：降低電子束的束流強(qiáng)度或縮短掃描時(shí)間，以減少電荷積累。

2. 磁場偽影

特征：由于樣品或儀器周圍存在磁場，圖像中可能出現(xiàn)失真、彎曲或拉伸的現(xiàn)象。

處理方法：遠(yuǎn)離磁場源：將SEM儀器和樣品遠(yuǎn)離任何可能產(chǎn)生磁場的設(shè)備，如電動機(jī)、變壓器等。

使用去磁線圈：如果樣品具有弱磁性，可以使用去磁線圈對樣品進(jìn)行處理。

重新對準(zhǔn)SEM：在有磁場干擾時(shí)，定期重新對準(zhǔn)SEM的電子光學(xué)系統(tǒng)。

3. 振動偽影

特征：振動偽影表現(xiàn)為圖像的模糊、重復(fù)條紋或拖影，通常由環(huán)境振動引起。

處理方法：隔振平臺：在SEM設(shè)備下方安裝隔振平臺，以減少環(huán)境振動的影響。

降低掃描速度：降低掃描速度可以減少振動偽影的影響，但可能需要增加掃描次數(shù)以提高信噪比。

檢查設(shè)備安裝：確保SEM安裝在穩(wěn)定的地基上，遠(yuǎn)離可能產(chǎn)生振動的設(shè)備和活動。

4. 樣品損傷偽影

特征：電子束在樣品表面引起損傷，導(dǎo)致圖像中出現(xiàn)不自然的亮斑、變色或結(jié)構(gòu)損壞。

處理方法：降低束流強(qiáng)度：減少電子束的束流強(qiáng)度，以減小對樣品的損傷。

降低加速電壓：使用低加速電壓，減少電子束對樣品的入射能量，從而降低損傷。

使用冷凍樣品臺：對于熱敏感樣品，可以使用冷凍樣品臺來減緩樣品在電子束下的損傷。

5. 電子束輻照偽影

特征：由于電子束的長期照射，樣品可能發(fā)生累積電荷或局部熱效應(yīng)，導(dǎo)致圖像中出現(xiàn)形變或非均勻?qū)Ρ取?/span>

處理方法：束流分布均勻化：優(yōu)化掃描路徑和束流分布，使得電子束在樣品表面均勻分布，避免局部過熱或過度輻照。

使用低電流掃描：通過降低束流電流或縮短曝光時(shí)間，減少電子束對樣品的輻照效應(yīng)。

6. 真空偽影

特征：真空系統(tǒng)的泄漏或波動可能導(dǎo)致圖像中出現(xiàn)不規(guī)則條紋、漂移或波動。

處理方法：檢查真空系統(tǒng)：定期檢查和維護(hù)真空系統(tǒng)，確保無泄漏或不穩(wěn)定的氣流。

穩(wěn)定真空壓力：在采集圖像前，確保樣品室內(nèi)的真空壓力穩(wěn)定。

7. 樣品污染偽影

特征：樣品表面污染物可能導(dǎo)致圖像中的不規(guī)則斑點(diǎn)或不均勻的對比度。

處理方法：清潔樣品：在成像前，對樣品進(jìn)行適當(dāng)?shù)那鍧嵦幚?，去除表面的污染物?/span>

使用離子束清潔：在高真空條件下，使用離子束對樣品表面進(jìn)行清潔處理。

防止污染：在成像過程中，盡量避免樣品暴露在有機(jī)物或其他污染物中。

8. 條紋偽影（Moire Pattern）

特征：當(dāng)樣品的周期性結(jié)構(gòu)與SEM的掃描周期重疊時(shí)，會在圖像中出現(xiàn)干擾條紋。

處理方法：調(diào)整掃描參數(shù)：改變掃描方向或調(diào)整掃描速度，以避免條紋的產(chǎn)生。

改變樣品角度：通過改變樣品的傾角，減少周期性結(jié)構(gòu)與掃描周期的重疊。

9. 圖像漂移

特征：電子束漂移或樣品臺移動引起的圖像模糊或偏移。

處理方法：穩(wěn)定電子束：定期校準(zhǔn)SEM的電子光學(xué)系統(tǒng)，確保電子束穩(wěn)定。

優(yōu)化樣品臺控制：確保樣品臺的定位和移動精度，減少不必要的移動。

10. 后期圖像處理

數(shù)字濾波：使用圖像處理軟件中的濾波工具（如高通濾波、噪聲去除等）來消除或減弱偽影。

圖像校正：使用軟件工具進(jìn)行亮度、對比度調(diào)整，或進(jìn)行幾何校正，減少偽影的視覺影響。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中處理圖像的偽影。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請咨詢15756003283(微信同號)。