在掃描電子顯微鏡（SEM）成像中，圖像偽影（Artifacts）是一些不真實(shí)的圖像特征，通常由儀器、樣品準(zhǔn)備或操作方法引起。這些偽影可能干擾圖像的準(zhǔn)確性和可解釋性，因此識(shí)別和消除它們非常重要。以下是一些常見(jiàn)的圖像偽影及其識(shí)別和消除方法：

1. 充電效應(yīng)（Charging Artifacts）

識(shí)別：表現(xiàn)為圖像中出現(xiàn)不規(guī)則的明暗區(qū)域、條紋或圖像漂移，特別是在非導(dǎo)電樣品或薄膜樣品上。

消除方法：涂覆導(dǎo)電層：在樣品表面涂覆一層薄的金、鉑或碳導(dǎo)電層，以消除靜電積累。

降低束電壓：減少電子束能量以降低充電效應(yīng)。

使用環(huán)境掃描電子顯微鏡（ESEM）：ESEM允許在低真空或濕環(huán)境中操作，減少充電效應(yīng)。

2. 圖像噪聲

識(shí)別：表現(xiàn)為圖像中的隨機(jī)斑點(diǎn)或顆粒，可能由電子束的不穩(wěn)定性、檢測(cè)器噪聲或信號(hào)不足引起。

消除方法：增加掃描次數(shù)：通過(guò)增加掃描次數(shù)（如多幀平均），可以減少隨機(jī)噪聲。

提高束流強(qiáng)度：增加束流強(qiáng)度以獲得更強(qiáng)的信號(hào)。

優(yōu)化檢測(cè)器設(shè)置：調(diào)整檢測(cè)器的增益和偏置電壓，優(yōu)化信號(hào)采集。

3. 漂移偽影（Drift Artifacts）

識(shí)別：圖像中的線條或細(xì)節(jié)出現(xiàn)模糊或拉伸，通常由于樣品、電子束或平臺(tái)的移動(dòng)引起。

消除方法：穩(wěn)定樣品：確保樣品固定牢固，減少機(jī)械振動(dòng)和熱膨脹。

調(diào)整掃描速度：適當(dāng)減慢掃描速度，以減少漂移對(duì)圖像的影響。

穩(wěn)定環(huán)境：保持環(huán)境溫度穩(wěn)定，減少熱膨脹引起的漂移。

4. 條紋偽影（Striations or Moiré Patterns）

識(shí)別：圖像中出現(xiàn)規(guī)則的條紋或波紋，通常由于樣品晶格結(jié)構(gòu)、檢測(cè)器干擾或電子束衍射引起。

消除方法：改變掃描角度：調(diào)整樣品或電子束的傾斜角度，改變衍射條件。

調(diào)整分辨率：改變掃描分辨率或采樣間距，以避免與樣品晶格間距的干涉。

后處理消除：在圖像后處理中使用濾波技術(shù)消除條紋偽影。

5. 樣品污染（Contamination Artifacts）

識(shí)別：在圖像中出現(xiàn)不屬于樣品的雜質(zhì)、顆?；蛭蹪n，通常由于樣品制備不當(dāng)或在真空環(huán)境中分解的有機(jī)物沉積引起。

消除方法：提高樣品制備質(zhì)量：確保樣品制備過(guò)程清潔，使用純凈的試劑和工具。

減少電子束輻照時(shí)間：減少電子束在樣品上聚焦的時(shí)間，以避免熱效應(yīng)導(dǎo)致的分解和沉積。

定期清潔真空腔體：保持SEM真空腔體的清潔，定期清潔或更換污染物可能沉積的部件。

6. 光學(xué)偽影（Lens Artifacts）

識(shí)別：圖像中的畸變、放大不均勻或像差，通常由于透鏡的對(duì)準(zhǔn)不當(dāng)、污染或電子束的聚焦不良引起。

消除方法：重新對(duì)準(zhǔn)透鏡系統(tǒng)：通過(guò)校準(zhǔn)透鏡和電子光學(xué)系統(tǒng)，確保電子束聚焦準(zhǔn)確。

清潔透鏡：定期清潔透鏡，以避免由于污染物沉積引起的光學(xué)偽影。

優(yōu)化聚焦：使用適當(dāng)?shù)木劢购拖癫罴夹g(shù)，確保圖像的銳利和清晰。

7. 斷層偽影（Fracture Artifacts）

識(shí)別：在樣品斷裂面或剖面圖像中出現(xiàn)不規(guī)則的紋理或缺口，通常由于樣品準(zhǔn)備過(guò)程中產(chǎn)生的機(jī)械應(yīng)力引起。

消除方法：小心制備樣品：避免在樣品切割或處理過(guò)程中引入過(guò)多的機(jī)械應(yīng)力。

優(yōu)化斷層處理技術(shù)：使用冷凍斷裂或低溫處理技術(shù)，減少樣品斷裂時(shí)的應(yīng)力集中。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電子顯微鏡的圖像偽影如何識(shí)別和消除。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢(xún)15756003283(微信同號(hào))。