通常情況下，掃描電鏡（SEM）的樣品表面電阻應(yīng)當(dāng)在 10^6 至 10^10 歐姆之間，才能確保良好的圖像質(zhì)量和性能。在這個范圍內(nèi)，樣品表面電阻足夠高以避免靜電積聚，并允許電子束與樣品表面有效地相互作用，而不會導(dǎo)致信號衰減或圖像模糊。

具體來說，如果樣品的表面電阻超過了 10^10 歐姆，可能會導(dǎo)致電子束無法有效地與樣品相互作用，從而影響圖像質(zhì)量。相反，如果樣品的表面電阻低于 10^6 歐姆，可能會出現(xiàn)靜電積聚的問題，導(dǎo)致圖像模糊或產(chǎn)生偽影。

因此，為了在SEM中獲得良好的圖像質(zhì)量，樣品的表面電阻應(yīng)在 10^6 至 10^10 歐姆之間。

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