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臺(tái)式掃描電鏡分辨率與電子束能量的關(guān)系

日期:2024-02-26

臺(tái)式掃描電鏡(SEM)的分辨率與電子束能量之間存在密切的關(guān)系。通常情況下,SEM的分辨率隨著電子束能量的增加而提高,但也受到一些因素的影響,包括樣品特性、電子束直徑和檢測(cè)器性能等。以下是一些關(guān)于SEM分辨率和電子束能量關(guān)系的主要考慮因素:

電子束直徑:隨著電子束能量的增加,電子束的直徑通常會(huì)減小。較小直徑的電子束可以提高圖像的分辨率,因?yàn)樗鼈兡軌蚋玫靥綔y(cè)樣品表面的微觀結(jié)構(gòu)。

穿透深度:電子束能量較低時(shí),電子穿透樣品表面的能力較弱,這可能導(dǎo)致圖像模糊或者對(duì)樣品表面的深層結(jié)構(gòu)無法清晰地觀察到。隨著電子束能量的增加,電子能夠穿透更深的樣品表面,從而提高對(duì)樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的分辨率。

樣品導(dǎo)電性:電子束能量較低時(shí),對(duì)于非導(dǎo)電性樣品,容易出現(xiàn)充電效應(yīng),導(dǎo)致圖像模糊或者失真。在這種情況下,增加電子束能量可以減少充電效應(yīng),提高圖像的清晰度和分辨率。

檢測(cè)器性能:一些檢測(cè)器在不同電子束能量下的性能表現(xiàn)可能不同。因此,選擇適當(dāng)?shù)臋z測(cè)器對(duì)于在不同電子束能量下獲得高質(zhì)量的分辨率至關(guān)重要。

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澤攸臺(tái)式掃描電鏡


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作者:澤攸科技