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掃描電鏡的探針電流和探針尺寸如何影響樣品表面成像

日期:2023-12-18

掃描電鏡是一種利用電子束來(lái)對(duì)樣品表面進(jìn)行高分辨率成像的儀器。探針電流和探針尺寸是影響SEM成像效果的重要參數(shù)。

探針電流:

影響: 探針電流直接影響掃描電鏡中電子束的強(qiáng)度。較大的電流可以提供更多的電子,使得成像信號(hào)更強(qiáng),但也可能導(dǎo)致樣品表面的充電效應(yīng)增加。

優(yōu)勢(shì): 大電流下,成像信號(hào)強(qiáng),適用于快速成像和獲取高分辨率圖像。

注意: 過(guò)大的電流可能損傷樣品,特別是對(duì)于生物樣品等較為敏感的樣品。

探針尺寸:

影響: 探針尺寸是指電子束的直徑,即聚焦后的尺寸。較小的探針尺寸可以提供更高的分辨率,但也可能導(dǎo)致成像信號(hào)減弱。

優(yōu)勢(shì): 小探針適用于對(duì)細(xì)小結(jié)構(gòu)的高分辨率觀察。

注意: 過(guò)小的探針可能導(dǎo)致較長(zhǎng)的成像時(shí)間,而且在非理想條件下可能導(dǎo)致成像不穩(wěn)定。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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作者:澤攸科技