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如何在掃描電鏡中避免或減少樣品在成像過程中的偽影

日期:2023-12-08

在掃描電子顯微鏡(SEM)成像過程中,樣品可能出現(xiàn)偽影,這可能是由于電子束與樣品相互作用引起的。以下是一些減少或避免偽影的方法:

導電涂層:

對非導電樣品進行金屬或碳的導電涂層,以提高樣品的導電性,減少電荷積累和偽影的發(fā)生。

低電子束能量:

減小電子束的能量,可以減少電子與樣品相互作用,減少電子的穿透深度,從而降低偽影的發(fā)生。

防靜電設備:

使用防靜電設備,如防靜電籠、靜電消除器等,以減小樣品表面的電荷積累。

樣品傾斜:

將樣品傾斜一定角度,以改變電子束入射角度,減少電子的反射和散射,有助于減少偽影。

低真空模式:

在低真空或中真空模式下進行觀察,減小氣體與電子的碰撞,降低電荷的堆積和偽影的產(chǎn)生。

適當?shù)慕裹c和亮度設置:

確保SEM的焦點和亮度設置適當,過高或過低的設置可能導致偽影。優(yōu)化這些參數(shù)有助于獲得清晰的圖像。

使用透射電子顯微鏡(TEM):

對于一些特定樣品,可以考慮使用透射電子顯微鏡,因為在TEM中,電子通過樣品而不是被樣品散射,可以減小偽影的發(fā)生。

樣品冷凍:

在觀察過程中冷凍樣品,可以減緩電子與樣品相互作用,減小電荷堆積和偽影的發(fā)生。

樣品處理和準備:

注意樣品的處理和準備過程,確保樣品表面的平整度和清潔度,以減小電子的反射和散射。

使用透明導電材料:

一些透明導電材料具有導電性且透明的性質(zhì),可以降低電子的反射和散射,減小偽影。

根據(jù)具體的樣品和觀察需求,可以結合使用上述方法,以盡量減少或避免在SEM成像中出現(xiàn)的偽影。

ZEM18臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技