掃描電鏡（SEM）的聚焦系統(tǒng)主要通過調(diào)整電子透鏡的電場(chǎng)來實(shí)現(xiàn)。這個(gè)系統(tǒng)包括一組電磁透鏡，用于聚焦電子束，使其能夠在樣品表面形成清晰的圖像。

聚焦系統(tǒng)的工作原理如下：

電子源： SEM中通常使用熱陰極或場(chǎng)發(fā)射電子源產(chǎn)生電子。這些電子被加速并形成初級(jí)電子束。

透鏡系統(tǒng)： 初級(jí)電子束經(jīng)過一系列的電磁透鏡，其中包括減焦透鏡和聚焦透鏡。這些透鏡通過調(diào)整電場(chǎng)的強(qiáng)度和方向來聚焦電子束。

樣品： 聚焦后的電子束照射到樣品表面，與樣品發(fā)生相互作用。

二次電子發(fā)射： 樣品表面的相互作用導(dǎo)致二次電子的發(fā)射。這些二次電子被收集用于形成圖像。

樣品與聚焦系統(tǒng)之間的距離影響聚焦的效果，主要體現(xiàn)在焦距上。焦距是指從透鏡到樣品表面的距離。在SEM中，通?？梢酝ㄟ^調(diào)整樣品的高度來改變焦距。這對(duì)于獲得清晰的圖像是至關(guān)重要的。

在一般情況下，當(dāng)樣品與透鏡系統(tǒng)之間的距離適當(dāng)時(shí)，可以獲得高質(zhì)量的聚焦效果。如果樣品太靠近透鏡系統(tǒng)，可能導(dǎo)致透鏡系統(tǒng)無法正確聚焦電子束，從而影響圖像的清晰度。反之，如果樣品太遠(yuǎn)離透鏡系統(tǒng)，電子束在到達(dá)樣品之前可能會(huì)發(fā)散，同樣影響圖像的質(zhì)量。

因此，通過調(diào)整樣品與透鏡系統(tǒng)的距離，可以優(yōu)化聚焦系統(tǒng)的性能，以獲得高分辨率和清晰的掃描電鏡圖像。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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