臺(tái)式掃描電鏡通常可以進(jìn)行元素分析和能譜測(cè)量，這通常涉及到能譜儀器的使用。下面是一般的步驟：

樣品準(zhǔn)備： 首先，您需要準(zhǔn)備您要分析的樣品。這可能涉及到切割、磨削、拋光或其他樣品制備步驟，以確保表面平整、潔凈，并且具有代表性。

電子束對(duì)準(zhǔn)： 在掃描電鏡中，將電子束對(duì)準(zhǔn)到您感興趣的樣品區(qū)域。確保電子束聚焦在一個(gè)小區(qū)域上，以獲取高分辨率的成像。

能譜儀器準(zhǔn)備： 啟動(dòng)或準(zhǔn)備能譜儀器，通常是通過(guò)在電子束和樣品之間引入一塊能譜探測(cè)器。這個(gè)探測(cè)器將檢測(cè)樣品產(chǎn)生的X射線。

X射線發(fā)射： 當(dāng)電子束擊中樣品時(shí)，它會(huì)與樣品中的原子相互作用，產(chǎn)生X射線輻射。這些X射線具有特定的能量，取決于與樣品中原子的相互作用。

X射線分析： 能譜儀器將檢測(cè)并記錄生成的X射線的能譜信息。這些信息將根據(jù)X射線的能量來(lái)分類。

元素識(shí)別： 分析軟件將使用X射線的能譜信息來(lái)識(shí)別樣品中存在的元素。這通常通過(guò)比較檢測(cè)到的X射線的能譜與已知元素的數(shù)據(jù)庫(kù)來(lái)實(shí)現(xiàn)。

定量分析： 根據(jù)能譜信息，您可以定量分析樣品中每種元素的含量。這需要使用標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)進(jìn)行校準(zhǔn)。

成像和分析： 在進(jìn)行元素分析之前，您可以使用掃描電鏡獲取有關(guān)樣品的高分辨率圖像。這些圖像可以與元素分析數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)，以獲得更詳細(xì)的信息。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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