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如何選擇適合的探針和檢測(cè)器以進(jìn)行掃描電鏡分析?

日期:2023-10-10

在選擇適合的探針和檢測(cè)器進(jìn)行掃描電鏡(SEM)分析時(shí),需要考慮要研究的樣品性質(zhì)、所需分辨率、表面拓?fù)涮卣骱退栊盘?hào)類(lèi)型。以下是一些常見(jiàn)的探針和檢測(cè)器以及它們的應(yīng)用:

二次電子顯微鏡(SEMs):

二次電子探針(SE):用于獲得樣品表面的形貌信息,對(duì)樣品表面的拓?fù)涮卣鞣浅C舾?。適用于大多數(shù)樣品。

反射電子顯微鏡(BSE):用于獲得樣品的原子數(shù)或密度信息,對(duì)高原子序數(shù)元素敏感。適用于成分分析。

能量色散X射線(xiàn)光譜分析(EDS):

X射線(xiàn)能譜探測(cè)器:用于定量分析樣品的元素成分。適用于確定樣品的化學(xué)成分和元素分布。

掃描穿透電子顯微鏡(STEM):

透射電子探針(TEM):用于觀(guān)察樣品內(nèi)部的細(xì)節(jié),可實(shí)現(xiàn)高分辨率的原子級(jí)成像和分析。

反射光電子顯微鏡(REM):

反射電子顯微鏡:用于獲得原子層面的表面形貌信息,對(duì)晶體結(jié)構(gòu)和異質(zhì)界面的研究非常有用。

探針柵顯微鏡(AFM):

原子力顯微鏡:用于研究樣品的表面拓?fù)洹⒘痛判缘刃再|(zhì)。適用于非導(dǎo)電樣品。

在選擇探針和檢測(cè)器時(shí),還需要考慮以下因素:

分辨率:選擇與所需分辨率匹配的設(shè)備。

樣品性質(zhì):考慮樣品的導(dǎo)電性、形狀和尺寸。

分析目的:明確您的分析目標(biāo),是觀(guān)察樣品的表面形貌、元素分布還是內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

成本:不同類(lèi)型的探針和檢測(cè)器有不同的價(jià)格,需要根據(jù)預(yù)算做出選擇。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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作者:澤攸科技