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掃描電鏡中的高真空環(huán)境對樣品的影響是什么?

日期:2023-08-07

在掃描電鏡(SEM)中,高真空環(huán)境對樣品會產(chǎn)生多方面的影響,這些影響可能對樣品的表面形貌、化學(xué)性質(zhì)以及電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生影響。以下是高真空環(huán)境對樣品的主要影響:

樣品脫氣: 在高真空環(huán)境中,樣品表面的氣體分子會逐漸被抽取出來,導(dǎo)致樣品表面發(fā)生脫氣現(xiàn)象。這可能導(dǎo)致樣品尺寸的微小變化,以及可能的形貌變化。脫氣過程需要一定的時間,因此在獲取圖像之前需要充分的脫氣時間。

樣品電荷積累: 由于高真空環(huán)境中電子束與樣品相互作用,樣品表面可能會積累電荷。這可能導(dǎo)致圖像的背景噪聲或產(chǎn)生偽影。為了減少電荷積累效應(yīng),通常會使用導(dǎo)電涂層或金屬涂層來提供電子束的導(dǎo)電通路,從而降低電荷積累。

氣體解析度: 高真空環(huán)境減少了氣體分子的存在,這有助于減少電子束與氣體分子的相互作用。這提高了樣品的解析度和成像質(zhì)量,因?yàn)殡娮邮粫c氣體分子碰撞并散射。

表面清潔度: 高真空環(huán)境可以避免大氣中的污染物進(jìn)入SEM系統(tǒng),因此在樣品觀察時,可以更好地保持樣品表面的清潔度。這對于研究表面形貌和結(jié)構(gòu)非常重要。

樣品熱效應(yīng): 在高真空環(huán)境中,樣品與電子束的相互作用可能會引起局部加熱,這可能會影響樣品的性質(zhì)。特別是在高放大倍數(shù)下,電子束的局部加熱可能會對樣品表面產(chǎn)生微小的形變。

圖像穩(wěn)定性: 高真空環(huán)境有助于保持掃描電鏡系統(tǒng)的穩(wěn)定性,從而在圖像采集過程中減少外部干擾,保證圖像質(zhì)量和可重復(fù)性。

ZEM18臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技