PicoFemto系列掃描電子顯微鏡納米探針臺實現(xiàn)了三維空間上的準確定位，具有小尺寸大行程、高定位精度、操作簡單、能在真空下使用等優(yōu)點，使用于在SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運動操作及物性測量。

PicoFemto 系列掃描電子顯微鏡 納米探針臺 基于壓電陶瓷驅(qū)動技術(shù)，運動無需潤滑，兼容掃描電鏡真空環(huán)境，并可在多種溫度范圍內(nèi)工作；步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺由XYZ三個單軸運動臺組合而成。一個SEM腔體內(nèi)可安裝多個三軸探針臺。平臺上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現(xiàn)微納操縱和測量的目的。

納米探針臺-技術(shù)指標（單個三軸探針臺）

納米探針臺-產(chǎn)品選型

澤攸科技提供適配Thermofisher/FEI、JEOL、ZEISS、Tescan及ZEPTOOLS等多種掃描電子顯微鏡型號的納米探針臺，支持定制。

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