掃描電鏡可以檢測(cè)到以下幾種主要信號(hào)：

二次電子：用于成像，能夠提供樣品表面的形貌信息。

背散射電子：用于成像，能夠提供樣品的成分對(duì)比信息。

特征X射線：用于成分分析，通過(guò)能譜儀（EDS）檢測(cè)可以確定樣品中的元素組成。

俄歇電子：用于表面成分分析，適用于非常淺的表面層分析。

陰極發(fā)光：用于分析樣品的光學(xué)性質(zhì)，通常用于半導(dǎo)體和礦物分析。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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