掃描電鏡通過(guò)高能電子與樣品間的相互作用而成像。掃描電鏡中的電子槍會(huì)發(fā)射出高能電子束，并且這個(gè)電子束被聚焦成一個(gè)非常小的束斑，然后通過(guò)掃描樣品表面來(lái)獲取信號(hào)。

當(dāng)高能電子束照射到樣品表面時(shí)，會(huì)與樣品表面原子產(chǎn)生相互作用。這些相互作用包括電子-電子相互作用、電子-原子核相互作用、電子-原子軌道相互作用等，都會(huì)導(dǎo)致電子在樣品表面散射或反射，同時(shí)也會(huì)發(fā)生信號(hào)的發(fā)射，如次級(jí)電子、背散射電子、X射線等。

掃描電鏡會(huì)將這些信號(hào)捕獲，并通過(guò)掃描樣品表面來(lái)獲取二維或三維的信號(hào)分布信息。SEM中的探測(cè)器會(huì)接收來(lái)自樣品表面的二次電子信號(hào)或背散射電子信號(hào)，然后將這些信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，再經(jīng)過(guò)放大和數(shù)字化處理后，通過(guò)計(jì)算機(jī)進(jìn)行圖像重建。

掃描電鏡成像的優(yōu)點(diǎn)包括高分辨率、高放大倍數(shù)和大深度場(chǎng)，能夠提供高清晰度、高對(duì)比度的表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)圖像，因此在材料科學(xué)、生物科學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

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