掃描電鏡主要通過(guò)電子束掃描樣品表面獲得樣品信息，具有分辨率高、放大倍率范圍寬等特點(diǎn)，已廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。今天主要為大家分享掃描電鏡的成像原理。

掃描電鏡基本原理是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過(guò)對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。當(dāng)電子轟擊樣品表面時(shí)會(huì)產(chǎn)生各種信號(hào)，其中包括二次電子、背散射電子和不同能量的光子等。這些信號(hào)來(lái)自樣品的特定發(fā)射區(qū)域，它隨表面形貌的不同而變化。從而可以獲得樣品的成份、表面形貌、晶體結(jié)構(gòu)等信息。

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

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