掃描電鏡相比普通顯微鏡分辨率更高，成像立體效果更好，已應(yīng)用于諸多領(lǐng)域，提到分辨率，哪些因素會對掃描電鏡造成影響呢？

1、透鏡的球差、色差等像差導致分辨率降低。

2、入射電子束同樣品相互作用降低了分辨率。電子在進入固體后，將在其中發(fā)生一系列的散射，這些散射過程根據(jù)能量變化可分為彈性散射和非彈性散射兩個基本過程。

3、信噪比也影響了掃描電鏡的分辨率。

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